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書誌データ
Jcodec
NDCn
code4-901790-22-6
ISBN139784901790222
商品名多層配線技術の最新動向
作者新宮原正三
出版社EDリサーチ社
シリーズFocus Reportシリーズ
サイズ-
出版日200212
版刷初版1刷
定価2000
52p
函:帯-:-
解題銅配線/低誘電率膜


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