書誌データ

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Jcode	c
NDC	n
code	9784-621-03115-5
ISBN13	9784621031155
商品名	マイクロリソグラフィー
作者	野々垣三郎
出版社	丸善
シリーズ	フロンティア・テクノロジー・シリーズ 002
サイズ	-
出版日	1986
版刷	初版1刷
定価	1200
頁	128p
函：帯	-：-
解題	IC.LSIはこうしてつくられる

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